Next Generation Lithography Workshop 2014 （次世代リソグラフィ研究会、日本応用物理学会）で招待講演（吉元）

2014/07/17: Category - conference, eventlist

東工大で

シミュレーションを用いたDSAプロセス・材料の最適化、

Computational approach to DSA process and materials optimizationで講演