SPIE Advanced Lithography 2014にて論文発表(吉元、堀)

2014/02/23: Category - conference, eventlist

2014年2月23-27日に行われた SPIE Advanced Lithography 2014 (サンノゼ)にて

吉元特定准教授が “DFM for Defect-Free DSA Hole Shrink Process” というタイトルで口頭発表、

B4 堀義宗君が “Multi-Scale DSA Simulations For Efficient Hotspot Analysis” というタイトルでポスター発表